無氧烘箱 PI膠烘箱 高溫?zé)o塵無氧烘箱
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普遍應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、軍事、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位,主要做BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產(chǎn)品、材料、零備等高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗(yàn)。 主要特點(diǎn):箱體選用全陶瓷纖維保溫,具有升溫快、節(jié)能等特點(diǎn),優(yōu)良的送風(fēng)、排風(fēng)系統(tǒng),確保爐箱溫度均勻,吸風(fēng)口玻纖過濾器,確保潔凈度的要求。 一、技術(shù)指標(biāo)與基本配置: 1、潔凈度:Class100級 2、氧含量(配氧分析儀): 高溫狀態(tài)氧含量:≤ 10ppm +氣源氧含量; 低溫狀態(tài)氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量 3、使用溫度:RT~400℃,最高溫度:450℃ 4、溫度均勻度:150℃±1.5%,350℃±2%以內(nèi)(空載測試); 5、空爐升溫時(shí)間:1.5h; 6、空爐降溫時(shí)間:375℃--80℃;降溫時(shí)間1.5-3.5小時(shí) (采用水冷及風(fēng)冷); 7、智能控制系統(tǒng):日本歐姆龍PCL+PC工控電腦 ![]()
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